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射频离子源基本介绍

发布时间:2023-03-23 14:45:11 来源:互联网 分类:电气知识

文章摘要:   离子源是使中性原子或分子电离并从中吸取离子束的设备。 随着离子源技术的不断发展,其在涂料中的应用越来越广泛,对离子源本身的要求也越来越高。 高。 离子源技术多种多样,如何挑选合适的离子源已成为涂料应用中的重要环节。今天小编就给大家讲解下射频

  离子源是使中性原子或分子电离并从中吸取离子束的设备。 随着离子源技术的不断发展,其在涂料中的应用越来越广泛,对离子源本身的要求也越来越高。 高。 离子源技术多种多样,如何挑选合适的离子源已成为涂料应用中的重要环节。今天小编就给大家讲解下射频离子源基本介绍。

射频离子源

  射频离子源由射频电源供电,并由匹配设备自动匹配以产生等离子体,并且离子束在栅格的作用下被拉出。 流程如下:

  1.放电室的线圈在感应耦合下产生等离子体。

  2.离子束和屏蔽栅通过电源连接,因此等离子体相对于地面处于正电位。 加速网格通过电源以负电位连接到地面。 通过屏幕过滤的离子束将被加速。

  3.在栅极的下游,电子通过中和器注入离子束中,形成电荷平衡。

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射频离子源基本介绍

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