文章摘要: 硅片切割目前基本都是采用线切割的方法,加入SiC切割液,Si和SiC都是无毒的,但是一般硅锭会掺杂P、B、As等元素得到需要的硅片,所以切割废液和废芯片都有一定的毒性,但是毒性很低,因为杂质含量是切割iC硅片(晶圆)所用的非常非常低的工艺制成的。或者太阳能
硅片切割目前基本都是采用线切割的方法,加入SiC切割液,Si和SiC都是无毒的,但是一般硅锭会掺杂P、B、As等元素得到需要的硅片,所以切割废液和废芯片都有一定的毒性,但是毒性很低,因为杂质含量是切割iC硅片(晶圆)所用的非常非常低的工艺制成的。或者太阳能晶片切割,因为有一些图形是由铜、钛、镍、钴等制成的。在硅片切割通道中,而硅片本身也掺杂有P、B、As等。所以晶圆切割时,有可能会加入切削液。
现在光伏产业蓬勃发展,发展迅速。硅片产能的快速增长必然造成硅片切削液需求的增加。但是,硅片切削液的问题依然突出,主要表现在以下五个方面:
1.硅片切割后表层TTV大,有丝痕:因为切割时硅片会脆裂或划伤,影响硅片表层的粗糙度和翘曲,造成加工后硅片总厚度出现偏差。
2.耐酸耐腐蚀:由于硅片切割设备在酸性环境下会生锈腐蚀,质量差的切削液会加剧腐蚀程度,所以如何防腐蚀防锈是判断硅片切削液质量的关键。
3.使用年限短:目前硅片切割液中使用的很多添加剂质量较差,不利于切割后的清洗,从而缩短了碳化硅线的使用年限。
4.氢气产生:硅片粉末在切割过程当中,由于粒径过细,与水反应会释放出氢气,长期生产积累会造成安全隐患。
5.生产成本高:目前很多切削液由于技术和使用方法的限制,无法循环使用,无形中增加了公司的运营成本。由于这五个问题的客观存在,很多硅片厂家陷入了困境。如果不可及时解决这个问题,不仅会严重影响生产,还会制约公司的长远发展。
硅片切割切削液的问题主要表现在哪些方面?
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