文章摘要: 或许大家还不够了解双色测温仪。今天就双色测温仪的典型应用即多晶硅生产测量来为大家介绍一下。一起来看下吧!在多晶硅生产开始时,半导体硅芯在还原炉中被高压瞬间击穿,通过硅芯的电流使硅芯达到1080℃的工艺温度,在硅芯由φ7mm~φ180mm成长的过程当中,该工
或许大家还不够了解双色测温仪。今天就双色测温仪的典型应用即多晶硅生产测量来为大家介绍一下。一起来看下吧!
在多晶硅生产开始时,半导体硅芯在还原炉中被高压瞬间击穿,通过硅芯的电流使硅芯达到1080℃的工艺温度,在硅芯由φ7mm~φ180mm成长的过程当中,该工艺温度需要保持不变。但是,随着硅棒直径的不断变大,其相应的阻抗会不断下降,从而使硅棒的受热性下降。为了保持1080℃的硅棒温度不变,只能相应地增加工作电流(电流从开始时的30A,到结束时为2800A)。在动态范围内的大电流变化,对生产设备和操作人员提出了较高的要求。此外,硅棒的熔点在1420℃左右,因此准确测量多晶硅的温度是非常重要的。
测量难点:
1、开始生产时硅芯的直径仅为φ7mm,且目标尺寸过小。
2、单色红外测温仪测量硅棒温度时,设备需要安装在还原炉外部,通过密封窗口瞄准炉内目标。窗口污染对透光率的影响造成了实际测量的偏差。
3、双层玻璃窗对红外信号的损耗影响较大。
采用双色测温仪的优点:
1、利用双色测温仪原理,直接测量目标的实际温度,不受材料辐射率的影响,无需对发射率进行补偿。
2、目视瞄准,直视目标。
3、对轻微的窗口污染不敏感。
4、不再依赖红外能量,对信号损耗不敏感。
以上便是为您介绍的双色测温仪的典型应用之多晶硅的生产测量,希望对您有所帮助!
双色测温仪:双色测温仪的典型应用之多晶硅的生产测量
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