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鑫立离子源厂家推荐离子源分类：

Kaufman离子源

Kaufman离子源是一种较早的离子源，属于网格型离子源。首先，从热阴极发射的电子被加速通过阴极护套，以获得与等离子体和阴极之间的电势差相对应的能量。它们与进入电离室的气体原子发生碰撞，并且气体原子通过碰撞而被电离，从而形成离子和二次电子。电子和离子在放电室中形成等离子体。在发散磁场的作用下，放电等离子体被引导至栅极离子光学活性区域。由于离子光学的作用，离子被提取并形成离子。由每个小孔形成的离子束被发散，混合和中和，从而形成具有能量和中性的宽离子束。由离子获得的能量应该是阳极电压和屏蔽电压的总和（通常来说，由于阳极电压远小于屏蔽电压，因此屏蔽电压近似视为离子加速能量）。

微波ECR离子源

微波电子回旋共振（ECR）离子源是一种无阴极源，具有高电离，高束强度，低压和性能稳定的特色。它是一种高密度低压等离子体源，可以在低压力下运行。在大气压下生成大面积均匀的高密度等离子体。

微波ECR等离子体源装置由微波源和传输波导，放电室，工作室，真空系统和气体分配系统组成。微波源的频率为2.45GHz，功率可以在0-400w之间连续调节。产生的微波通过耦合波导，环行器，定向耦合器，阻抗匹配器和直波导输入放电室。放电室是高密度等离子体的区域。排放室是一个不锈钢圆形腔。一端连接到微波输入波导，这称为微波窗口。为了保持真空，用绝缘陶瓷板密封微波窗，另一端连接到工作室。在放电室的外部，使用同轴线圈或永磁体的组合形成磁镜场和发散场，以提供电子回旋共振场并限制等离子体的运动和扩散。在放电室中，电子在垂直磁场的平面上受到洛伦兹力的作用，从而使回旋加速器运动。

射频（RF）离子源

在射频离子源中，气体通过专门设计的气压绝缘体进入石英放电室。通过由LC组成的人工传输线将13.56MHz的射频功率感应到放电室中，并产生涡旋圆周电场。电场可用于电离工作气体。采用三栅离子光学系统。离子光学系统中有许多小孔。屏幕栅可以吸收放电电子作为放电室中的阳极，从而形成放电电路。屏幕上有许多小孔。由于屏幕的小孔处的电场，在放电等离子体的边界处形成等离子体双鞘。离子通过弯月面护套发射电子，并通过离子光学系统的聚焦而加速以形成离子束。离子束还必须通过中和器强制中和。除了中和作用外，中和器还可以可靠地提供低压离子源的点火和电弧。