文章摘要: 气冷罗茨泵一般以真空单元的形式出现。由于普通罗茨泵不可在常压和高压下启动并直接排放大气,因此需要配备前级泵。但并不是所有的罗茨泵都需要前置泵才能启动,比如气冷罗茨泵、湿式气冷罗茨泵、多级气冷罗茨泵。普通罗茨泵只能在6000Pa左右甚至更低的压力下
气冷罗茨泵一般以真空单元的形式出现。由于普通罗茨泵不可在常压和高压下启动并直接排放大气,因此需要配备前级泵。但并不是所有的罗茨泵都需要前置泵才能启动,比如气冷罗茨泵、湿式气冷罗茨泵、多级气冷罗茨泵。
普通罗茨泵只能在6000Pa左右甚至更低的压力下启动,并且只能在某些环境下才能稳定的大抽速。由于普通罗茨泵没有内压缩特性,气体排放是通过外压缩实现的。过大的压差和在高压下工作会使真空泵负荷过高,使转子在压缩过程当中产生的过多热量无法散发,会发生过度膨胀,造成转子与泵腔之间的间隙消失,进而被卡住。
针对这一问题,气冷罗茨泵利用冷却气体直接对转子进行冷却,从而下降转子的温度以及转子与泵腔的温差,避免转子过度膨胀,实现高压差高压缩比下的运行。因此,可以在大气压下单独使用,也可以串联几个单元来提高真空度。
气冷罗茨泵与普通气冷罗茨泵在结构和原理上没有太大区别。主要布置连接到泵出口的冷却器,冷却气体被引入泵体的两侧以冷却转子。采用这种结构,气冷罗茨泵可以在大气压下直接启动,独立工作。当空气直接排出时,气冷罗茨泵的极限压力约为1 10 4 Pa,串联可获得下限压力。工作压差可达88千帕左右。
罗茨泵,以其发明者的名字命名,是指一种可变容积真空泵,具有两个反向同步旋转的叶片式转子。转子之间以及转子和泵壳内壁之间有一个小间隙,彼此不接触。它是真空镀膜机获得高真空的主要设备。对于在压差下运行的罗茨泵,不建议在冷却前直接在极限压力下运行。在极端压力下,由于真空泵旋转过快,零气体通过量不会通过气体或外壳表层散发任何热量。由于温度突然升高,转子与机壳之间的气隙过小,泵就会停止转动。在严重的情况下,这将造成真空泵完全失效。
气冷罗茨泵不仅可以在大气压下直接工作,而且在高压阶段具有稳定的抽气速度曲线,可以大大缩短粗抽阶段的抽气时间。与其他直接排放空气的油封泵相比,气冷罗茨泵在高压条件下具有良好的节能特性,是非常优秀的设备。
气冷罗茨泵的一些常识点
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