真空镀钛设备的漏气检测

　　检验漏气是保证真空镀钛设备真空度的一种检验方法，简称检漏。真空度的不均匀性直接影响镀膜效果，因此检漏必不可少。

　　通常，真空镀钛设备真空室中的空气泄漏发生在室壁上的一些小孔或部件前面的接合处。当抽气系统排出空气时，真空室中的压力下降，外部和内部之间的压力差造成气体从高压的外部流向低压的真空室，造成真空度下降。在真空镀钛设备检漏过程当中，要注意一些问题，才能做好检漏工作。

　　一、检验泄漏是否泄漏，因为工件数据在加热后会产生不同程度的气体，这可能会被误认为是从外部流入的气体。这就是虚漏，这种情况应该消除。

　　二、测试真空镀钛设备真空室的气体密封功能，确保气密功能符合要求。

　　三、检验漏孔的大小、形状、方位、漏风速度，制定解决方案并实施。

　　四、确定检验仪器的检漏率和检漏灵敏度，大范围检验泄漏情况，避免部分泄漏被忽视，提高检漏的准确性。

　　五、掌握检漏仪的反应时间和消除时间，把握好时间，确保检漏仪到位。时间短的话检漏功能肯定差，时间长的话就浪费检漏气和人工电费。

　　六、还要避免漏堵。有时由于操作失误，真空镀钛设备检漏过程当中有一些灰尘或液体堵塞了泄漏，以为这个位置没有泄漏。然而，当这些堵塞由于内外压差的进展或其他原因而没有堵塞泄漏时，泄漏仍然存在。做好真空镀钛设备的检漏工作非常重要。真空度下降的原因有很多。我们应该逐一解决这些原因，以稳定涂层效果。