文章摘要: 真空腔体是保持内部为真空状态的容器,真空腔体的制作要考虑容积、材质和形状。不锈钢是目前超高真空系统的主要结构材料。其中300系列不锈钢(表1)是含Cr10%~20%的低碳钢,具有优良的抗腐蚀性、放气率低、无磁性、焊接性好、导电率和导热率低、可以在-270~9
真空腔体是保持内部为真空状态的容器,真空腔体的制作要考虑容积、材质和形状。不锈钢是目前超高真空系统的主要结构材料。其中300系列不锈钢(表1)是含Cr10%~20%的低碳钢,具有优良的抗腐蚀性、放气率低、无磁性、焊接性好、导电率和导热率低、可以在-270~900℃工作等优点,在高真空和超高真空系统中,应用广泛。
为了下降真空腔体的制作成本,采用铸造铝合金来制作腔体也逐渐普及。另外,采用钛合金来制作特殊用途真空腔体的例子也不少。
为了减小腔体内壁的表层积,通常用喷砂或电解抛光的方式来获得平坦的表层。超高真空系统的腔体,更多的是利用电解抛光来进行表层处理。
焊接是真空腔体制作中最重要的环节之一。为避免大气中熔化的金属和氧气发生化学反应从而影响焊接质量,通常采用氩弧焊来完成焊接。氩弧焊是指在焊接过程当中向钨电极周围喷射保护气体氩气,以避免熔化后的高温金属发生氧化反应。
超高真空腔体的氩弧焊接,原则上必须采用内焊,即焊接面是在真空一侧,以免存在死角而发生虚漏。真空腔体不允许内外双重焊接和双重密封(图1)
真空腔体的内壁表层吸附大量的气体分子或其他有机物,成为影响真空度的放气源。为实现超高真空,要对腔体进行150~250℃的高温烘烤,以促使材料表层和内部的气体尽快放出。烘烤方式有在腔体外壁缠绕加热带、在腔体外壁固定铠装加热丝或直接将腔体置于烘烤帐篷中。比较经济简单的烘烤方法是使用加热带,加热带的外面再用铝箔包裹,避免热量散失的同时也可使真空腔体均匀受热。
真空腔体制作相关注意事项
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