购买干式真空泵的注意事项

为了适应不同的使用要求，干式真空泵被分为许多不同类型的设备。对此，为了适应不同的使用需求，下面将介绍如何准确挑选它们。

不同类型的干式真空泵，我们总是渴望可以减小它们的物理尺寸。然而，这与真空泵的抽速相矛盾，真空泵的抽速与干式真空泵的体积成正比。更小的物理尺寸意味着更小的体积。当然，影响干式真空泵抽速的另一个重要因素是转速。为了使小型真空泵的吸气速度与大型真空泵的吸气速度相匹配，需要提高速度。改变干式真空泵转速的方法有两种，一种是改变电源的频率，即使用变频器；另一种是改变变速箱的传动比。其中，使用变频器的优点是可以提供闭环控制，但在重载下容易造成转矩损失。改变变速箱的传动比是一种非常经济的方法，当然也只能提供单速，不可控。

意外的干式真空泵错误会下降机器效率，影响晶圆生产和交付，甚至造成晶圆报废和其他部件的加工损坏。由于螺杆设计采用单级设计，与球槽、爪形、组合等多级泵相比，所用零件数量可减少60%。这对于干式真空泵的稳定性和未来的维护成本来说是一个很大的优势。

一般来说，如果用户认为功耗对他来说很重要，那么挑选内压螺杆干式真空泵可能是一个不错的挑选，氮含量对他来说并不重要。但总的来说，对废气处理的要求越来越严格，未来减少氮气的使用就显得尤为重要。如果您想在不使用简单的库存控制泵进行更改的情况下处理各种半导体工艺，则外部压缩螺杆干式真空泵是一个不错的挑选。

结合所有上述设计类型的优点将是理想的，具体取决于具体情况，但目前还不可能。因此，用户需要了解干式真空泵的设计类型，然后根据自己的工艺特色了解不同类型泵设计的影响。这种挑选可以下降干式真空泵的使用成本，获得更长的使用年限和稳定的真空系统。