超迈光电自主研发生产镀膜设备 厂家直营快速定制 规格型号齐全

一、镀膜机的主要组成部分

一台完整的镀膜机通常包括以下主要组成部分：

1.真空腔体：用于产生和维护真空环境，主要包括吸气、排气、内外罩壳、维护装置、真空系统等相关设备。

2.基片夹持系统：用于固定需要进行镀膜的基片，通常采用机械夹持或者磁力夹持的方式。

3.靶材或者源材料：用于镀膜过程中的材料来源，通常是固体靶材或者液态源材料。

4.镀膜控制系统：用于对镀膜过程中各个参数的控制和监测，包括真空度、电压、电流、工件温度、镀层厚度等参数的监测和调整。

五、镀膜机工作原理

镀膜机的工作原理通常是利用真空环境中高速运动的金属离子撞击材料表面，从而使其表面生成一层金属膜层。下面是具体的镀膜过程：

1.首先，将需要镀膜的基片夹在夹持系统中，通过真空泵将腔体内的气体排出，形成高真空环境。

2.将靶材或者源材料置于真空腔体内，并利用磁场或者电弧等方式将其电离或者气化。

3.通过高压电场，将离子加速并将其引向基片表面，撞击基片表面，并与基片表面原子结合形成金属膜层。

4.通过控制电压、电流等各种参数，可以控制成膜速度和成膜厚度，从而控制镀层的质量和厚度。